汎用全鋼製オイル充填圧力センサーは、表圧および絶対圧の測定に使用できる圧力センサーの一種です。MEMSチップには特許技術を用いたSOIプロセスが採用されており、フィールドシールド機能を備え、優れた耐電圧性能を持っています。製品構造は径方向シール方式を採用しており、汎用性が高く、取り付けが容易です。

製品概要

・幅広い測定圧力範囲：0～35kPaG（A）～2.5MPaG（A）

・入出力抵抗：2kΩ～5kΩ

・定電圧／定電流駆動、mV出力

・圧力ヒステリシス：±0.1%FS

・広い動作温度範囲：-40℃～125℃

・圧力応答時間：≦1ms

・非直線性：±0.3%FS

技術仕様

応用分野

液面センサー、差圧トランスミッタ