MEMS圧力センサーは、SOPパッケージの絶対圧モジュールに対応可能です。MEMSチップにはPt-Auパッドおよび配線を採用しており、耐腐食性に優れ、過酷な排気環境下でも動作可能です。製品はセラミック基板とPPS製トップカバーを使用し、内部にはパーフルオロジェルを封入することで、腐食性ガスからチップを効果的に保護し、信頼性を大幅に向上させています。独自のCOBパッケージ設計により、はんだ接合部をしっかりと保護しつつ、クライアント側のパッケージ要件にも柔軟に対応できるため、用途に最適なソリューションを提供します。

製品概要

・広い測定範囲：-100 kPaG～100 kPaG

・圧力応答時間：0.8ms以下

・AEC-Q100認証取得済み

・出力クリップ（クランプ）カスタマイズ可能

・高精度：±1% FS（0℃～85℃）、±1.5% FS（-40℃～130℃）

・広い動作温度範囲：-40℃～130℃

・過電圧耐性：28V、逆接続耐性：24V

・絶対圧／差圧／SENT出力対応

・セラミック基板のフリップチップ実装設計により、効果的な耐腐食封止を実現

技術仕様

応用分野

VBS、DPS、EVAP、Crank Case。